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Microfabrication Process-Driven Design, FEM Analysis and System Modeling of 3-DoF Drive Mode and 2-DoF Sense Mode Thermally Stable Non-Resonant MEMS Gyroscope

机译:微型制造过程驱动的设计,有限公司分析和3 DOF驱动模式的系统建模和2-DOF感测模式热稳定的非谐振MEMS陀螺仪

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