一种12英寸晶圆铜柱锡凸块生产用制造设备

摘要

本实用新型涉及晶圆测量设备技术领域，且公开了一种12英寸晶圆铜柱锡凸块生产用制造设备，包括主体座，所述主体座的内部活动安装有两个传动滚轮，所述主体座的底部固定安装有动力箱。该12英寸晶圆铜柱锡凸块生产用制造设备，通过检测支架呈C字型，且检测支架与两个测量电动推杆的连接方式为焊接，检测支架底部的接触感应器在接触到晶圆凸块后，通过信号发射模块将信号发射至处理器，处理器暂停高度调节推杆，然后启动测量电动推杆，使感应片和滑动滚珠均接触到晶圆凸块，然后通过数据测量模块进行数据的测量，再启动转动电机，使检测支架旋转三百六十度，最后将数据通过信号发射模块发送给处理器判断产品是否合格。