ローム、独サイクリスタルで今秋から6インチSiCウエハー量産開始2年後に年産12万枚体制へ、結晶からエピウエハーまでの一貫体制確保

摘要

ロームは、今秋から6インチ炭化ケイ素（SiC）ウエハーの量産を始める。ドイツの全額出資子会社の「SiCryStal]（サイクリスタル）社で量産化ラインを整えており、2年後に年産12万枚を目指す計画である。同社は、すでに量産している4インチウエハーに加えて、市場の要求の多い6インチ基板を投入することでウエハーの大口径化によるコストダウンを目指していた。同社によると、量産を始める6インチウエハーは、面内での貫通転移やゃ工ハ一品質が4インチ並みの高品質を確保しているとしている。