半導体ウエハー固定装置を量産へ12インチ用、国内メーカー向け

摘要

住友大阪セメントは半導体製造時にシリコンウエハーを固定する「静電チャック」と呼ばれる装置の量産体制を整えた。 月産能力は50台程度とみられる。 炭化ケイ素（SiC）のナノ微粒子を用いており、従来の製品より熱伝導性に優れているという。 製造が本格化する12インチウエハー用（Fig1）が中心。 国内半導体装置メーカーに販売すべく性能評価を急いでいる。