一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器

摘要

本发明公开了一种具有全桥微梁结构的压阻式加速度传感器，包括框架、悬臂梁、微梁和质量块，所述悬臂梁处于质量块对称轴线上；所述微梁共有四个，以悬臂梁所在轴线为轴对称地分布于质量块边缘。该结构设置四个微梁，并将压阻敏感电阻设于四个微梁上，四个压阻敏感电阻构成惠斯顿全桥电路，一方面使得悬臂梁的应变得到放大，提高了灵敏度；另一方面，四个压阻敏感电阻均处于芯片内，因测量环境温度变化引起的阻值漂移对电路的影响在全桥电路中相互抵消，提高了温度稳定性；而且四个微梁增加了对质量块振动的约束，提高了一阶谐振频率。