一种微梁直拉直压高灵敏度高带宽微机械压阻式加速度传感器

摘要

本文提出了一种新型的微梁直拉直压微机械压阻式加速度传感器.理论模型和有限元模拟分析了一种特殊的三梁结构,此结构能极大的提高传感器的灵敏度,同时具有较高的自由振动频率.基于该传感器的设计规则,设计了各种量程的传感器.给出了使用SOI硅片制作传感器的制造工艺.工艺过程包括一次反应离子刻蚀和一次深反应离子刻蚀(DRIE).本文最后给出了器件的封装和特性测试结果.