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机译:具有新型垂直梁结构的压阻式加速度计
Micromachining; Accelerometers; Lateral acceleration;
机译:具有新型垂直梁结构的压阻式加速度计
机译:带开槽梁微型压阻式加速度计的研究
机译:具有轴向受力自支撑传感梁的新型压阻加速度计的分析与设计
机译:具有新型垂直梁结构的压阻式加速度传感器
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:使用压阻梁的触觉传感器用于检测静摩擦系数
机译:带开槽梁微型压阻式加速度计的研究
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试