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公开/公告号CN110526200A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-03
原文格式PDF
申请/专利权人 西安交通大学;
申请/专利号CN201910683513.X
发明设计人 赵立波;马银涛;于明智;贾琛;皇咪咪;杨萍;王久洪;蒋庄德;
申请日2019-07-26
分类号
代理机构西安通大专利代理有限责任公司;
代理人安彦彦
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2024-02-19 15:21:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-27
实质审查的生效 IPC(主分类):B81B7/02 申请日:20190726
实质审查的生效
2019-12-03
公开
机译: 以及一种制造装置的方法,该装置具有用于检测梁和被悬挂梁的位移的装置压阻装置。
机译: 具有增强性能的压阻式加速度计
机译:具有轴向受力自支撑传感梁的新型压阻加速度计的分析与设计
机译:平面外双挠性MEMS压阻式加速度计,具有低交叉轴灵敏度
机译:高性能微机械压阻式加速度计,带有轴向受力微束
机译:双轴MEMS压阻导入内加速度计,具有纯轴向变形的微观芯片
机译:用于生物医学应用的封装式亚毫米压阻式加速度计。
机译:具有证明质量的低成本CMOS-MEMS压阻式加速度计
机译:具有可调节轴向分辨率的三轴压阻式加速度计
机译:批量微机械加工6H-siC高g压阻式加速度计制造和测试