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公开/公告号CN110531115A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-12-03
原文格式PDF
申请/专利权人 西安交通大学;
申请/专利号CN201910684531.X
发明设计人 赵立波;于明智;马银涛;贾琛;皇咪咪;杨萍;王久洪;蒋庄德;
申请日2019-07-26
分类号G01P15/12(20060101);B81C1/00(20060101);B81B7/02(20060101);
代理机构61200 西安通大专利代理有限责任公司;
代理人安彦彦
地址 710049 陕西省西安市咸宁西路28号
入库时间 2024-02-19 16:02:24
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-12-27
实质审查的生效 IPC(主分类):G01P15/12 申请日:20190726
实质审查的生效
2019-12-03
公开
机译: 三轴压阻式加速度计的制造方法及相对压力监视装置
机译: 具有三轴压阻加速度计的压力监视装置的制造方法
机译:平面外双挠性MEMS压阻式加速度计,具有低交叉轴灵敏度
机译:集成式MEMS压阻三轴加速度计*
机译:具有频率输出的三轴单质量CMOS-MEMS压阻加速度计
机译:具有纯轴向变形微束的两轴MEMS压阻平面加速度计
机译:CMOS-MEMS压阻式加速度计和纳米牛顿力传感器的设计和微制造。
机译:具有证明质量的低成本CMOS-MEMS压阻式加速度计
机译:具有频率OUTP的三轴单样式CMOS-MEMS压阻式加速度计
机译:评估压阻式加速度计的单轴和三轴冲击隔离技术