varifocal mirror piezoresistor resonant vibration microelectromechanical systems;
机译:带有压阻式聚焦传感器的谐振变种微镜
机译:集成在微镜器件中的压阻旋转角传感器的特性和改进设计
机译:集成在微镜中的压阻旋转角度传感器
机译:集成在谐振变焦距镜中的压阻位移传感器
机译:可变聚焦微镜阵列透镜的设计,制造和测试。
机译:基于静电梳状驱动和压阻感测侧向谐振器的谐振压力传感器
机译:具有压阻式聚焦传感器的谐振式变焦微镜