提高硅片电性能的退火炉网带

摘要

本实用新型涉及单晶、多晶硅片生产用退火炉，特别涉及一种提高硅片电性能的退火炉网带，包括网带本体，网带本体的上表面设有等间隔的凸起，相邻两个凸起之间的间隔为2cm～8cm，凸起凸出网带本体的高度大致相同，凸起凸出网带本体的高度为0.5cm～1.5cm；凸起截面为倒V形。本实用新型提高硅片电性能的退火炉网带，每隔2cm～8cm网带上凸0.5cm～1.5cm，减少了网带与硅片的接触，在高温退火时能充分燃烧硅片中的杂质，达到了降低成本、减少污染、提高产能的效果和目的。