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【2h】

Enhanced electrical properties of Nb-doped a-HfO2 dielectric films for MIM capacitors

机译：用于MIM电容器的NB掺杂A-HFO2介电膜的电性能提高

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Chris Yeajoon Bon; Dami Kim; Kanghyuk Lee; Sungjoon Choi; Insung Park; Sang-Im Yoo;
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年度 2020
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1. Enhanced electrical properties of Nb-doped a-HfO2 dielectric films for MIM capacitors [J] . Chris Yeajoon Bon, Dami Kim, Kanghyuk Lee, AIP Advances . 2020,第11期

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