法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-08-17
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/336 授权公告日:20141203 终止日期:20170829 申请日:20120829
专利权的终止
2014-12-03
授权
授权
2014-12-03
授权
授权
2013-02-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/336 申请日:20120829
实质审查的生效
2013-02-06
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/336 申请日:20120829
实质审查的生效
2012-12-19
公开
公开
2012-12-19
公开
公开
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