公开/公告号US9478641B2
专利类型
公开/公告日2016-10-25
原文格式PDF
申请/专利权人 PEKING UNIVERSITY;
申请/专利号US201214006219
申请日2012-10-11
分类号H01L21/336;H01L29/66;H01L21/02;H01L21/027;H01L21/311;H01L21/306;H01L21/28;H01L21/321;H01L21/3213;H01L21/265;H01L21/324;H01L29/06;
国家 US
入库时间 2022-08-21 14:33:00