法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2020-07-03
专利权人的姓名或者名称、地址的变更 IPC(主分类):H01L21/683 变更前: 变更后: 申请日:20110816
专利权人的姓名或者名称、地址的变更
2019-11-15
专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L21/683 授权公告日:20140409 登记号:2018120000003 出质人:天津华海清科机电科技有限公司 质权人:清华控股有限公司 解除日:20191022 申请日:20110816
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2019-11-15
专利权质押合同登记的注销 IPC(主分类):H01L 21/683 授权公告日:20140409 登记号:2018120000003 出质人:天津华海清科机电科技有限公司 质权人:清华控股有限公司 解除日:20191022 申请日:20110816
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-03-06
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/683 登记号:2018120000003 登记生效日:20180206 出质人:天津华海清科机电科技有限公司 质权人:清华控股有限公司 发明名称:用于晶圆交换装置的晶圆托架组件和晶圆交换装置 授权公告日:20140409 申请日:20110816
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-03-06
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L21/683 登记号:2018120000003 登记生效日:20180206 出质人:天津华海清科机电科技有限公司 质权人:清华控股有限公司 发明名称:用于晶圆交换装置的晶圆托架组件和晶圆交换装置 授权公告日:20140409 申请日:20110816
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2018-03-06
专利权质押合同登记的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 登记号:2018120000003 登记生效日:20180206 出质人:天津华海清科机电科技有限公司 质权人:清华控股有限公司 发明名称:用于晶圆交换装置的晶圆托架组件和晶圆交换装置 授权公告日:20140409 申请日:20110816
专利权质押合同登记的生效、变更及注销
2015-02-25
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/683 变更前: 变更后: 登记生效日:20150128 申请日:20110816
专利申请权、专利权的转移
2015-02-25
专利权的转移 IPC(主分类):H01L21/683 变更前: 变更后: 登记生效日:20150128 申请日:20110816
专利申请权、专利权的转移
2015-02-25
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/683 变更前: 变更后: 登记生效日:20150128 申请日:20110816
专利申请权、专利权的转移
2015-02-25
专利权的转移 IPC(主分类):H01L 21/683 变更前: 变更后: 登记生效日:20150128 申请日:20110816
专利申请权、专利权的转移
2014-04-09
授权
授权
2014-04-09
授权
授权
2014-04-09
授权
授权
2014-04-09
授权
授权
2012-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20110816
实质审查的生效
2012-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/683 申请日:20110816
实质审查的生效
2012-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20110816
实质审查的生效
2012-01-25
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 21/683 申请日:20110816
实质审查的生效
2011-12-07
公开
公开
2011-12-07
公开
公开
2011-12-07
公开
公开
2011-12-07
公开
公开
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