公开/公告号CN101852984B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-08-21
原文格式PDF
申请/专利权人 信越化学工业株式会社;
申请/专利号CN201010158168.7
申请日2010-03-31
分类号
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人金晓
地址 日本东京
入库时间 2022-08-23 09:15:43
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-08-21
授权
授权
2012-03-28
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F 1/00 申请日:20100331
实质审查的生效
2010-10-06
公开
公开
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