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赵丽新;
集成电路; 光掩模; 缺陷; 检测; 检查仪;
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机译:利用高温超导块进行磁悬浮在光掩模生产中的旋涂机应用研究
机译:开发用于测量FPD生产中光掩模相差的激光掩模系统
机译:掩模生产中基于航拍图像的掩模缺陷自动处理
机译:用于光刻的DUV和EUV光掩模中非平面相和多层缺陷的快速仿真方法。
机译:Lonicera japonica提取物在动物生产中的潜在应用:从肠道健康的角度来看
机译:平面结构自动控制设备在光掩模集成电路拓扑结构原件生产中的应用
机译:用于自动IC光掩模检测系统的实验评估的测试掩模。
机译:制造光掩模的方法,掩模图案形状评估设备,判断光掩模缺陷校正部分的方法,光掩模缺陷校正部分判断设备以及半导体器件的制造方法
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