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应用自动喷涂技术修复掩模版透明缺陷实验

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摘要

首先简要介绍了缺陷修复系统中自动喷涂技术的定义,应用自动喷涂技术修复掩模版透明缺陷的优势以及实验目的,然后通过实验确定了对掩模版透明缺陷实现完美修复的自动喷涂参数的最佳组合,最后总结了实验结论.

著录项

来源
《微处理机》 |2009年第2期|25-27|共3页
作者
董磊; 戴翼戈;
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作者单位

中国电子科技集团公司第四十七研究所;

沈阳;

110032;

中国电子科技集团公司第四十七研究所;

沈阳;

110032;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类制版;
关键词
缺陷修复系统; 自动喷涂技术; 掩模版; 透明缺陷修复;

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