Применение оборудования для автоматического контроля планарных структур в производстве оригиналов топологии интегральных схем на фотошаблонах

摘要

В соответствии с концепцией бездефектного изготовления оригиналов топологии интегральных схем на фотошаблонах представлены два отечественных комплекта оптико-механического оборудования, предназначенные для реализации технологии 0,35 мкм и 90 нм. Каждый из этих комплектов состоит из:• многоканального лазерного генератора изображений;• установки автоматического контроля топологии фотошаблонов;• установки лазерного устранения дефектов топологии фотошаблонов.Приводится описание операции автоматического контроля топологии в технологическом процессе изготовления фотошаблонов и краткое описание базовых технологических операций этого процесса. Анализируются преимущества комплексного подхода к проблеме разработки комплекта оптико-механического оборудования для бездефектного изготовления фотошаблонов.