法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-02-13
发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):G03F1/00 申请公布日:20090805 申请日:20090121
发明专利申请公布后的视为撤回
2009-09-30
实质审查的生效
实质审查的生效
2009-08-05
公开
公开
机译: 修改光掩模缺陷的方法,制造光掩模的方法,制造相移掩模,光掩模,相移掩模,光掩模组和图案转移方法的方法
机译: 光掩模缺陷校正方法,光掩模制造方法,相移掩模制造方法,光掩模,相移掩模,光掩模组和图案转移方法
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