一种具有表面等离激元的二维材料异质结光电探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种具有表面等离激元的二硒化钨/二硫化钼异质结光电探测器及其制备方法，包括ITO电极、异质结：由二维二硒化钨和二硫化钼以范德华力结合在一起以及表面等离激元：由金纳米颗粒构成。发明提出的光电探测器，利用表面等离激元对光子能量的吸收作用来增强二维二硒化钨/二硫化钼异质结的光吸收和光响应。发明提出制备方法包括通过激光直写光刻技术在异质结区域的光刻胶上精确地刻出亚微尺寸特定图形如矩形或圆形等窗口、利用移液器在窗口区域滴加纳米颗粒溶液如金纳米颗粒溶液或银纳米颗粒溶液、在震动和加热环境下将金纳米颗粒富集在矩形窗口内的方式在异质结区域上引入表面等离激元。本发明提出的具有表面等离激元的二维材料异质结光电探测器的结构及其制备方法具有新颖和简单的特点。