一种电热式MEMS扭转驱动器

摘要

一种电热式MEMS扭转驱动器，其特征在于该电热式MEMS扭转驱动器1由至少两种热膨胀系数不同材料组成的薄膜结构，该电热式MEMS扭转驱动器一端固定，另一端连接可动单元2，该电热式MEMS扭转驱动器中心线3不与固定端面垂直，且中心线3的斜率没有拐点，当电热式MEMS扭转驱动器1温度升高时，电热式MEMS扭转驱动器1绕x轴方向转动，从而带动可动单元2转动。优点：解决了现有电热式MEMS驱动器不易扭转的技术问题，具有结构简单、易实现的特点。