Adjustable Resonance Frequency of RF-MEMS Capacitor by Using Comb- Drive Actuators: A Design Approaches

Agus Santoso Tamsir; Sandy Tannu Wijaya; Dato’ Burhanuddin Yeop Majlis

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Adjustable Resonance Frequency of RF-MEMS Capacitor by Using Comb- Drive Actuators: A Design Approaches

机译：使用梳状驱动器调节RF-MEMS电容器的谐振频率：一种设计方法

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《Makara Seri Teknologi》 |2014年第2期|共4页
作者
Agus Santoso Tamsir; Sandy Tannu Wijaya; Dato’ Burhanuddin Yeop Majlis;
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中图分类工业技术;
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