一种MEMS压电大位移驱动器设计分析

摘要

以压电双晶片为研究对象,设计出了4种结构形式的位移驱动器,并对设计的4种位移驱动器进行了性能分析,发现压电双晶梁的结构简单,但输出位移最大;对简单压电双晶梁进行了研究,分析了各因素对输出位移的影响,最终确定了合理的结构尺寸和弹性垫片的选用材料.设计的简单压电双晶梁输出位移达到223 μm,满足至少200 μm的输出位移要求,为驱动某引信安全系统中的扁平MEMS结构提供了一种简便可行的方案.