University of Minnesota.;
机译:静电致动器的制造和操作,用于控制坍塌的悬臂异质结构中的纳米级间隙
机译:用于紫外可见气隙的MEMS光学滤光片的超薄氮化硅膜的设计和制造
机译:通过双轴菌株调谐2D ZnL_2 / CDS异质结构的光学和电子性质,用于光学纳米型,第一原理研究
机译:MEMS致动器,用于对准和调整Atom芯片上的光学微腔
机译:对基于静电驱动波导的光学MEMS器件进行可变光衰减的建模,分析和测试。
机译:基于共集成MEMS执行器和光波导的器件:综述
机译:基于共集成mEms执行器和光波导的器件:综述
机译:通过焦耳加热驱动和机械限制选择性地调整屈曲的si / siO2膜mEms