一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究

张晓鹏; 戴旭涵; 苗小丹; 丁桂甫; 赵小林

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一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器的研究

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介绍了一种新型MEMS双稳态微电磁驱动器,通过理论分析和有限元分析工具Ansys对器件的结构参数进行了优化设计,并证明了设计的可行性.利用金属基表面微加工技术与体硅微加工技术成功制作出这种驱动器,并对其弹性平台的弹性系数进行了标定,对驱动器的双稳态进行了调试.结果表明:此驱动器具有良好的双稳特性,响应时间短(约10ms)的特点.

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来源
《传感器与微系统》|2009年第6期|117-120|共4页
作者
张晓鹏; 戴旭涵; 苗小丹; 丁桂甫; 赵小林;
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作者单位

上海交通大学,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200240;

上海交通大学,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200240;

上海交通大学,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200240;

上海交通大学,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200240;

上海交通大学,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200240;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类 TP212;
关键词
微机电系统; 电磁驱动; 微电铸; 湿法腐蚀;
入库时间 2023-07-25 09:52:05

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