一种用于无掩模光刻的投影成像系统

摘要

本发明提供了一种用于无掩模光刻的投影成像系统，其具有成像效果好、畸变小、宽光谱、成本低的优点，沿着光轴由物面至像面依次包括：第一镜组，光阑，第二镜组，第三镜组，所述第一镜组至少包括1个负透镜和2个正透镜，所述第二镜组包括至少1个负透镜和1个正透镜，所述第三镜组包括至少1个正透镜。