多台阶腔体结构的LTCC基板制作方法及LTCC基板

摘要

本发明提出了一种多台阶腔体结构的LTCC基板制作方法及LTCC基板，该多台阶腔体结构的LTCC基板制作方法包括：对单层生瓷片实施打孔、填孔、印刷工艺及开腔体制作，得到开腔体后的单层生瓷片；制作腔体结构的顶面保护板；制作嵌件塞，用于实现腔体结构中的底层腔体的保护和支撑；将多个开腔体后的单层生瓷片进行叠片，并将嵌件塞填充入腔体结构中的底层腔体中；按照预设的叠片工艺顺序对开腔体后的单层生瓷片在腔体结构中的上层腔体中进行叠片及工装组合，得到LTCC生瓷堆；将LTCC基板实施层压及共烧工艺，完成多台阶腔体结构的生瓷坯向熟瓷坯的转换，实现多台阶腔体结构的LTCC基板制作。