公开/公告号CN112325765A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-02-05
原文格式PDF
申请/专利权人 苏州中科全象智能科技有限公司;苏州中科行智智能科技有限公司;
申请/专利号CN202011148967.6
申请日2020-10-23
分类号G01B9/02(20060101);
代理机构11470 北京精金石知识产权代理有限公司;
代理人杨兰兰
地址 215000 江苏省苏州市苏州工业园区金鸡湖大道88号E1栋
入库时间 2023-06-19 09:49:27
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-04-05
授权
发明专利权授予
机译: 光学元件表面检查干涉仪-具有分光镜,参考面和形成干涉图样的透镜系统
机译: 光学元件表面检查干涉仪-具有分光镜,参考面和形成干涉图样的透镜系统
机译: 白光扫描干涉仪测量透明薄膜指数折射的方法