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机译:使用场补偿扫描白光干涉仪精确测量干涉仪群时延
机译:使用场补偿扫描白光干涉仪精确测量干涉仪群时延
机译:振动补偿扫描白光干涉仪,用于深度反应离子蚀刻机中的
机译:振动补偿,扫描白光干涉仪,用于<斜体>在深反应离子蚀刻器中的原位测量
机译:多功能扫描白光干涉仪(SWLI):施工2-D和3-D测量
机译:一种用于感测亚波长结构扰动的调制白光干涉仪。
机译:使用Mach-Zehnder和Michelson干涉仪对激光线宽延迟自外差干涉测量的比较
机译:一种用于绝对纳米级间隙厚度测量的新型白光扫描干涉仪