Fabry-Parot平面扫描干涉仪和球面扫描干涉仪的设计制造

摘要

平面和球面激光扫描干涉仪包括扫描干涉仪头（光学机械部分），锯齿波信号发生器，光电接收器和放大器。主要机械结构件采用低膨胀系数的因瓦合金，光学件用熔石英，压电扫描元件用PZT压电陶瓷圆筒。F-P镜片的安装采用可折卸式，