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垂直扫描白光干涉仪用柔性铰链的设计及应用

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摘要

根据垂直扫描白光干涉仪的结构参数,设计了其系统中微位移定位机构的柔性铰链,并应用Ansys对其性能进行有限元分析.分析结果显示,该柔性铰链的性能能够满足垂直扫描白光干涉仪的工作要求.

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来源
《黎明职业大学学报》 |2013年第3期|71-73|共3页
作者
徐丽平; 崔长彩;
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作者单位

华侨大学机电及自动化学院,福建厦门361021;

黎明职业大学机电工程与自动化学院,福建泉州362000;

华侨大学机电及自动化学院,福建厦门361021;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类机械设计;
关键词
垂直扫描; 白光干涉仪; 柔性铰链; 有限元分析;

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