一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统

摘要

本发明公开了一种适用于大行程高精度白光干涉仪的扫描系统，由光源(1)经准直透镜组(2)成为平行光束，通过分光棱镜(3)后被分成两束互相垂直的光束。其中一束光直接照射到试样(4)上，反射光被分光棱镜反射到成像物镜(7)上。另一束光被分光棱镜反射，照射到反射镜(6)上，反射光透过分光棱镜，照射到成像物镜(7)上。两束反射光发生干涉，产生干涉图样，通过成像物镜(7)将干涉图像成像到高速CCD(8)的焦面。高速CCD(8)通过PCI口将图像实时传输到计算机上显示。本发明采用高性能步进电机做驱动器以及高精度光栅尺做位置反馈摆脱了传统PZT运动平台的行程小速度低的缺点，能够满足白光干涉仪进行大行程的扫描运动，同时也具有很高的扫描定位精度。