一种等离子体刻蚀晶圆的温度分布检测装置

摘要

该发明公开了一种等离子体刻蚀晶圆的温度分布检测装置，涉及半导体技术领域，通过在晶圆表面设置若干温度传感器；检测对应点的温度值，进而得到所述晶圆的温度分布情况。避免对等离子体刻蚀工艺腔室做特殊处理，具有较高的实用性，同时，可以通过设置较多的监测点，来实现检测晶圆表面较多分布点的温度，采样率相对较高，因此可获得准确度较高的晶圆表面温度分布，保证了晶圆片加工的成品率。