一种晶圆加热器表面温度分布检测装置

摘要

一种晶圆加热器表面温度分布检测装置，包括底部晶圆、上部晶圆、微型热电偶、可伐合金支架、真空电极与温度监测装置，所述的微型热电偶设置在底部晶圆与上部晶圆之间，所述的底部晶圆与上部晶圆设置在可伐合金支架上，所述的微型热电偶的信号线通过可伐合金支架固定，所述的微型热电偶通过真空电极与温度检测装置相连。本发明晶圆加热器表面温度分布检测装置通过使用双层晶圆、内部加强支架和测温点的精确加工，使用时由于有加强支架，检测装置使用时不易碎裂，使用双层晶圆结构热电偶测温头不易掉落,使用真空电极可以隔绝真空和大气，并通过真空电极将热电偶信号线引到大气侧，通过温度监测装置记录晶圆加热器表面温度分布情况。