一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法

摘要

本发明公开了一种晶圆表面缺陷检测装置及晶圆表面缺陷检测方法，其中装置包括光源、相机、升降组件、料盘检测组件以及控制台；光源、相机、料盘检测组件设置在升降组件上；光源、相机、料盘检测组件、升降组件分别与控制台连接；升降组件用于带动光源、相机、料盘检测组件升降；相机用于在不同高度采集检测位上装载有晶圆的料盘的图像；光源用于在不同高度提供采集所需的灯光；料盘检测组件用于在不同高度检测检测位上是否有料盘；控制台用于根据相机采集的图像判断料盘上的晶圆的表面是否存在缺陷。本发明通过机器代替人工进行晶圆表面缺陷检测，不仅极大程度减少了人力浪费，节省了人力成本，而且还提高了晶圆表面缺陷检测的准确性和工作效率。