一种基于Gabor特征与随机降维的晶圆表面缺陷检测方法

摘要

本发明公开了一种基于Gabor特征与随机降维的晶圆表面缺陷检测方法。用CCD相机采集晶圆表面图像，然后对图像进行预处理；设计用于获取晶圆表面纹理特征的40个Gabor滤波器，然后将40个Gabor滤波器与图像做卷积运算得到40幅特征图像；对40幅特征图像采用随机降维：对降维后的图像进行阈值分割，构建针对分割阈值的目标函数，求解目标函数获得最终分割阈值，用最终分割阈值分割图像为前景与背景，确定分割阈值，最终准确检测晶圆表面缺陷。本发明方法可很好地对晶圆表面缺陷进行识别和定位，并且识别的效率也有了很大的提高。