机译:使用一种工具进行薄膜表征的补充方法-一种适用于450毫米晶圆的新型仪器
机译:勘误表:“随着3D全室建模和实验视觉技术的发展,新颖的腔室硬件设计可提高12英寸(300毫米)和18英寸(450毫米)晶片的薄膜沉积质量” [AIP进展3(7 ),072117(2013)]
机译:新颖的腔室硬件设计,通过3D全腔室建模和实验视觉技术的开发,可提高12英寸(300毫米)和18英寸(450毫米)晶圆的薄膜沉积质量
机译:一种工具中薄膜特性的互补方法 - 450 mm晶圆的新颖仪器
机译:硅(100)晶片上氮化硼薄膜的表征。
机译:使用实验室X射线仪表征SiGe薄膜
机译:在一个工具中进行薄膜表征的补充方法 - 用于450 mm晶圆的新型仪器