公开/公告号CN112216609A
专利类型发明专利
公开/公告日2021-01-12
原文格式PDF
申请/专利权人 长江存储科技有限责任公司;
申请/专利号CN202011001472.0
申请日2020-09-22
分类号H01L21/324(20060101);H01L21/60(20060101);H01L27/1157(20170101);H01L27/11582(20170101);
代理机构11479 北京汉之知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人高园园
地址 430074 湖北省武汉市东湖新技术开发区未来三路88号
入库时间 2023-06-19 09:32:16
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2022-07-26
授权
发明专利权授予
机译: 能够检测晶圆翘曲的晶圆加工工具以及用于检测晶圆翘曲的方法
机译: 晶圆翘曲评估方法及晶圆排序方法
机译: 晶圆翘曲评估方法和晶圆选择方法