晶圆键合工艺中改善晶圆边缘形变的方法

摘要

本发明的一种晶圆键合工艺中改善晶圆边缘形变的方法通过采取调整键合步骤中的顶端的顶针力、真空吸盘的真空吸力以及两片晶圆的距离等方式，使得中心形成的键合波以同心圆的方式逐渐向两边扩散，消除或者减少现有技术导致的不是以同心圆的方式扩散就会造成晶圆边缘形变较大、产品质量差或者废品率高的问题，大大提高提高键合工艺质量。