改善200 mm晶圆边缘加工产能的工艺研究

摘要

本文根据硅片边缘磨削原理,从吸盘转速、倒角轮转速、边抛效率等方面对200 mm硅片进行分析研究,进而得出不同的加工工艺条件对硅片边缘质量及加工产能的影响,从而达到提升加工产能的目的。