一种柔性外延铁电栅薄膜晶体管及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性外延铁电栅薄膜晶体管及其制备方法，该晶体管包括：云母柔性衬底；在衬底上形成的缓冲层；在缓冲层上形成的底栅电极；在底栅电极上形成的外延铁电薄膜层；在外延铁电薄膜层上形成的沟道层；在沟道层上形成的源电极；以及在沟道层上且同所述源电极分离形成的漏电极。本发明以具有金属导电性的钙钛矿氧化物SrRuO3外延薄膜作为底栅电极，以钙钛矿氧化物外延铁电薄膜作为栅介质层；其具有非常好的机械弯曲特性，可以承受2mm弯折半径和反复1000次的弯折，并保持铁电栅薄膜晶体管的电学性能基本不变；读写速度快；耐高温性能优异，经过400℃退火后其电学性能无明显变化；而且其制备工艺简单、制程稳定、制造周期短。