法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-03-11
发明专利申请公布后的驳回 IPC(主分类):C30B15/00 申请公布日:20120418 申请日:20111209
发明专利申请公布后的驳回
2012-05-30
实质审查的生效 IPC(主分类):C30B15/00 申请日:20111209
实质审查的生效
2012-04-18
公开
公开
机译: 计算硅熔体的表面的高度位置的方法,生长硅单晶的方法和硅单晶提拉装置
机译: 硅熔体的形成方法和硅单晶的生长方法
机译: 可以防止熔体泄漏的硅单晶硅锭生长装置的操作方法