基于非晶多元金属氧化物的柔性电阻式非易失性存储器

摘要

本发明公开一种基于非晶多元金属氧化物的柔性电阻式非易失性存储器，该存储器包括：柔性衬底，柔性电极，柔性非晶多元金属氧化物层，其中非晶氧化物层具有可变电阻特性。本发明采用柔性衬底/金属/非晶多元金属氧化物/金属这一多层结构作为柔性存储器的存储单元，器件不但具有良好的电阻转变特性，且表现出优异的柔性特征。在不同角度的、连续多次的弯曲测试中，器件运行稳定、存储性能没有退化、存储信息未丢失，表明该柔性存储器具有良好的机械抗疲劳性，可以满足未来电子产品在可移植性、轻便化与便携性上的发展需求。