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公开/公告号CN109273352A
专利类型发明专利
公开/公告日2019-01-25
原文格式PDF
申请/专利权人 山东大学;
申请/专利号CN201811250452.X
发明设计人 冯先进;徐伟东;
申请日2018-10-25
分类号
代理机构济南金迪知识产权代理有限公司;
代理人杨树云
地址 250199 山东省济南市历城区山大南路27号
入库时间 2024-02-19 07:41:09
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-02-26
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/02 申请日:20181025
实质审查的生效
2019-01-25
公开
机译: 金属氧化物纳米晶的制备方法,多元素氧化物纳米晶的制备方法和金属氧化物纳米晶
机译: //具有透明金属氧化物/金属/透明金属氧化物钝化层的非晶氧化物薄膜晶体管
机译:使用超薄溶液处理的ZrO_x电介质的高性能全非晶双层金属氧化物薄膜晶体管
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