公开/公告号CN102169958A
专利类型发明专利
公开/公告日2011-08-31
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201110110342.5
申请日2011-04-29
分类号H01L45/00;C23C14/34;B82Y10/00;B82Y40/00;
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2023-12-18 03:13:16
机译: 相变材料层及其制造方法和包括使用相变材料层形成的相变材料层的相变存储器件以及制造和操作相变存储器件的方法
机译: 相变存储装置,包括多孔氧化层中基于纳米线网络的单元素相变层,以及制造该相变存储器的方法,能够同时形成基于单元素的相变层和纳米相层
机译: 形成相变材料层的方法和使用相变材料形成相变存储器的方法以及由相变存储器形成的相变存储器