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纳米复合相变材料、制备方法及其在相变存储器中的应用

摘要

本发明涉及一种纳米复合相变材料及其制备方法、以及在相变存储器中的应用。其中,所述纳米复合相变材料包含:摩尔百分比为70-99%的相变材料GeTe和摩尔百分比为1-30%的介质材料HfO

著录项

  • 公开/公告号CN102169958A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-08-31

    原文格式PDF

  • 申请/专利号CN201110110342.5

  • 发明设计人 吕业刚;宋三年;宋志棠;

    申请日2011-04-29

  • 分类号H01L45/00;C23C14/34;B82Y10/00;B82Y40/00;

  • 代理机构上海光华专利事务所;

  • 代理人李仪萍

  • 地址 200050 上海市长宁区长宁路865号

  • 入库时间 2023-12-18 03:13:16

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