公开/公告号CN102169958B
专利类型发明专利
公开/公告日2013-07-10
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院上海微系统与信息技术研究所;
申请/专利号CN201110110342.5
申请日2011-04-29
分类号
代理机构上海光华专利事务所;
代理人李仪萍
地址 200050 上海市长宁区长宁路865号
入库时间 2022-08-23 09:14:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2013-07-10
授权
授权
2011-10-12
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L 45/00 申请日:20110429
实质审查的生效
2011-08-31
公开
公开
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