无氟化学溶液沉积法动态连续制备高温超导带材热处理炉

摘要

本发明公开了一种无氟化学溶液沉积法动态连续制备高温超导带材热处理炉，所述的连续热处理炉（9）构造是：炉膛（12）由带热电偶的碳化硅管构成；耐高温不锈钢炉管（13）安装在炉膛中，其上设置有进气口（16）、（17）、（18）、（19）和排气口（15）、（20）；炉管（13）内安装有等间距的支架（14）；支架（21）安装在炉体下方；滑轮（22）安装在支架（21）下方。本发明可同时实现多种气氛分区控制的不同热处理工艺过程，生产效率高。本发明设备基于无氟化学溶液沉积方法制备带材，在非真空条件下制备且无需配套排氟设施，成本低廉、工艺简单，适合于工业化生产。