首页> 中国专利> 一种倒装芯片凸点结构的圆片级制造方法

一种倒装芯片凸点结构的圆片级制造方法

摘要

本发明提供了用于一种倒装芯片凸点结构的圆片级制造方法,它包括:在圆片的金属焊盘上制造出钉头凸点,之后将钉头凸点与模具开孔相对准,再将导电材料填充在模具开孔中,然后进行脱模,经过加热回流或者固化形成第二凸点。所述第二凸点与钉头凸点构成一个凸点结构。由于此方法是基于圆片,同时采用印刷的方法来进行生产,并且省去了UBM层的制作,不仅提高了生产效率而且降低了生产成本,经济效益显著。

著录项

  • 公开/公告号CN101937858A

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2011-01-05

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 清华大学;

    申请/专利号CN201010243645.X

  • 申请日2010-08-03

  • 分类号H01L21/60;

  • 代理机构北京众合诚成知识产权代理有限公司;

  • 代理人黄家俊

  • 地址 100084 北京市100084-82信箱

  • 入库时间 2023-12-18 01:30:56

法律信息

  • 法律状态公告日

    法律状态信息

    法律状态

  • 2013-01-16

    发明专利申请公布后的视为撤回 IPC(主分类):H01L21/60 申请公布日:20110105 申请日:20100803

    发明专利申请公布后的视为撤回

  • 2011-03-02

    实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/60 申请日:20100803

    实质审查的生效

  • 2011-01-05

    公开

    公开

相似文献

  • 专利
  • 中文文献
  • 外文文献
获取专利

客服邮箱:kefu@zhangqiaokeyan.com

京公网安备:11010802029741号 ICP备案号:京ICP备15016152号-6 六维联合信息科技 (北京) 有限公司©版权所有
  • 客服微信

  • 服务号