具有集成保护性流槽的耐用MEMS流量裸片

摘要

一种MEMS流量传感器具有避开引线接合焊盘和辅助电路元件的流槽。流体可以从传感器衬底的底部移动，通过入口孔，在衬底顶部的传感元件上方移动，并且然后通过出口孔。入口孔和出口孔可以从衬底底部穿到衬底底部。顶帽可以被固定于衬底顶部，以使得它覆盖传感元件、入口孔和出口孔。顶帽限制了流槽并且阻止流体-或气体或液体离开该槽并接触引线接合焊盘或辅助电路元件。